生產半導體對于廠房潔凈度要求很高，特別是在芯片制造環節，環境的潔凈度直接關系到產品的良率。實現無污染的半導體制造對于減少缺陷和良率損失以及提高設備的可靠性是至關重要的。為了確保潔凈室潔凈度符合相關要求，需要選擇合適的潔凈室懸浮粒子檢測儀器。
01 選擇粒子計數器的關注點
1. 粒徑尺寸各種尺寸的塵埃顆粒，都會影響到半導體的良率。半導體制造行業在選擇粒子計數器時，首先需要考慮的就是合適尺寸的粒徑通道，例如0.1 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、1.0 μm和5.0 μm。2.靈敏度和準確性半導體制造潔凈室對塵埃粒子的檢測要求很高，粒子計數器應具有高靈敏度和準確性。高靈敏度意味著粒子計數器能夠檢測到極低濃度的顆粒，這對于確保產品質量和生產過程的可靠性至關重要。準確性則要求計數器在長時間運行過程中保持穩定，避免出現誤報或漏報的情況。3.操作簡便性與維護對于使用者來說，粒子計數器操作的簡便性非常重要。易于操作、界面友好的計數器可以降低操作難度，提高工作效率。另外，維護的便捷性也是需要重點關注的，易于清潔和維護的設計，可以減少停機時間和維修成本。
02 眾瑞0.1μm粒子計數器
更新時間：2024-09-13
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